放射光X線を用いた
表面・界面・薄膜の構造決定

SPring-8の放射光X線を用いて、無機・有機材料の表面・界面・薄膜の三次元構造を1原子層・分子層から精密に決定します。

シーズの特徴(成果含む)

  • 微小角入射X線回折法、基板と薄膜層との干渉を利用するCTR(Crystal Truncation Rod)散乱法などの手法により、薄膜およびその表面・界面の構造を三次元的に決定できます。
  • 1原子層、1分子層の厚さの極薄膜から解析可能です。
  • 大気中はもちろん、真空中・水溶液中など、各種環境下の試料に対応できます。
放射光X線を用いた表面・界面・薄膜の構造決定

アウトカム

薄膜構造を使う材料・デバイス

 

知財等関連情報

1) 高橋正光、表面技術59, 848 (2008).
2) M Takahasi et al., J. Phys.: Condens. Matter 22, 474002 (2010).
3) 高橋正光、表面科学33, 507 (2012).

アウトカムに至る段階

基礎

連携希望企業

材料メーカー・素材メーカー

担当者

量子ビーム科学部門
関西光科学研究所放射光科学研究センターコヒーレントX線利用研究グループ
佐々木 拓生