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木津地区 | 施設共用

関西光科学研究所 | 施設共用 採択課題一覧

掲載日:2019年7月11日更新
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関西光科学研究所の共用装置にて採択した課題一覧

2019年度課題

 

2018年度課題

利用区分 利用装置 利用課題名 研究代表者 研究代表者所属
成果公開 X線レーザー実験装置 ダブルパルス照射による基板表面励起加工過程の調査に関する研究 林 照剛 九州大学
成果公開 J-KARENレーザー装置 無衝突衝撃波による準単色イオン加速物理の解明 坂和 洋一 大阪大学
成果公開 J-KARENレーザー装置 極短パルス高強度レーザーを用いた極限プラズマの研究 蔵満 康浩 大阪大学

2017年度課題

利用区分 利用装置 利用課題名 研究代表者 研究代表者所属
成果公開 X線レーザー実験装置 ダブルパルス照射による基板表面励起加工過程の調査に関する研究 林 照剛 九州大学
成果公開 X線レーザー実験装置 EUV放射用レジスト材料アブレーションのX線照射パルス幅依存性に関する研究 東口 武史 宇都宮大学
成果公開 軟X線平面結像型回折格子評価装置 極端紫外線(EUV)回折格子の結像評価研究 笹井 浩行 株式会社島津製作所
成果公開 X線レーザー実験装置 高耐性軟X線光学素子に関する基礎研究 市丸 智 NTTアドバンステクノロジ株式会社

2016年度課題

利用区分 利用装置 利用課題名 研究代表者 研究代表者所属
成果公開 X線レーザー実験装置 超短パルスレーザープラズマX 線源を用いたダブルパルス照射による基板表面励起加工過程の調査に関する研究 林 照剛 九州大学
成果公開 X線レーザー実験装置 高耐性軟X線光学素子に関する基礎研究 市丸 智 NTTアドバンステクノロジ株式会社
成果公開 X線レーザー実験装置 EUV用レジスト材料のX線照射パルス幅依存性に関する研究 東口 武史 宇都宮大学

 

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