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高崎量子応用研究所

実験装置 - プロジェクト二次元物質スピントロニクス

掲載日:2018年12月26日更新
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実験装置EQUIPMENT

複合型分子線エピタキシー(MBE)装置

実験装置の画像1

各種蒸着機構(MBE,超高真空CVD,マグネトロンスパッタ),分析機構(XPS,UPS,EELS)からなる複合型装置です。作製した試料をUHVベッセルを使って放射光施設などの実験装置に搬送することもできます。

化学気相蒸着(CVD)装置

実験装置の画像2

グラフェンなど原子層物質成長用のCVD装置です。定圧~大気圧CVDや試料の熱処理に用いることができます。

深さ分解X線磁気円二色性(XMCD)分光装置

実験装置の画像3

薄膜材料の電子・磁気的性質を原子層に匹敵する深さ分解能で分析できる装置です。つくば市の高エネ研・フォトンファクトリーに設置して使用しています。

高真空磁気マイクロプローバー

実験装置の画像4

微小な素子や薄膜試料に面内/面直方向の磁場を印加しながら50K以上の温度範囲で磁気伝導特性を測定できる装置です。

超高真空磁気光学Kerr効果測定装置

実験装置の画像5

超高真空中で磁性薄膜の磁気的性質を測定する装置です。薄膜試料を成長しながらのその場測定等を行うことができます。

SQUID磁化測定装置 カンタム・デザイン MPMS

カンタム・デザイン MPMS

材料の磁気的性質を測定する装置です。低温(2K以上)、高磁場(7T以下)での測定が可能です。

マイクロラマン分光装置 東京インスツルメンツ NanoFinder

マイクロラマン分光装置 東京インスツルメンツ NanoFinderの画像

走査トンネル顕微鏡(STM) ユニソク

走査トンネル顕微鏡(STM) ユニソクの画像

原子間力顕微鏡(AFM) セイコー SPI3800

原子間力顕微鏡(AFM) セイコー SPI3800の画像

電子ビーム描画装置 サンユー電子

電子ビーム描画装置 サンユー電子の画像

マスクアライナー ミカサMA-20

マスクアライナー ミカサMA-20の画像

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