供用対象施設・設備　高崎研(量子技術基盤研究設備）

掲載日：2025年9月22日更新

量子技術基盤研究設備募集対象の設備

No.	施設	設備・装置の種類	装置の概要・条件	担当者・連絡先	備考
1	量子技術基盤研究設備（陽電子）	陽電子消滅寿命測定装置	Na-22線源を同一とみなせる二枚の試料で挟み込むことで、陽電子寿命測定と陽電子消滅ドップラー拡がり測定が可能な装置です。これよりパルク材料中の空孔型欠陥を検出できます。測定に際しては、7×7mm～10×10mmの試料面積、0.5mm程度以上の試料の厚さが必要であり、測定時間は、1検体当たり数時間～1日程度必要となっています。	河裾　厚男先進ビーム利用施設部
2	量子技術基盤研究設備（電子）	電子線描画装置	最高100kVの加速電圧により最小ビーム径Φ1.8nmが得られ、6nmの超微細パターンを描画可能です。フィールドサイズは、100μm角から3,000μm角までの対応が可能です。装置にセットできる最大サイズは直径6インチのウエハまた5インチ角です。装置は自動位置補正、自動マーク検出等の機能を備え、短時間で再現性の高いナノ構造パターニングができます。	境　誠司スピンフォトニクス量子物性機能グループ

※１：内容は一部変更になる場合がございます。

※２：各設備・装置に関することについては、takasaki-kyoyo@qst.go.jpにお問い合わせください。