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供用対象施設・設備 高崎研(量子技術基盤研究設備)

掲載日:2025年9月22日更新
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量子技術基盤研究設備募集対象の設備

 

No. 施設 設備・装置の種類 装置の概要・条件 担当者・連絡先 備考
1 量子技術基盤研究設備
(陽電子)
陽電子消滅寿命測定装置 Na-22線源を同一とみなせる二枚の試料で挟み込むことで、陽電子寿命測定と陽電子消滅ドップラー拡がり測定が可能な装置です。これよりパルク材料中の空孔型欠陥を検出できます。測定に際しては、7×7mm~10×10mmの試料面積、0.5mm程度以上の試料の厚さが必要であり、測定時間は、1検体当たり数時間~1日程度必要となっています。 河裾 厚男
先進ビーム利用施設部
 
2 量子技術基盤研究設備
(電子)
電子線描画装置

最高100kVの加速電圧により最小ビーム径Φ1.8nmが得られ、6nmの超微細パターンを描画可能です。フィールドサイズは、100μm角から3,000μm角までの対応が可能です。装置にセットできる最大サイズは直径6インチのウエハまた5インチ角です。装置は自動位置補正、自動マーク検出等の機能を備え、短時間で再現性の高いナノ構造パターニングができます。

境 誠司
スピンフォトニクス量子物性機能グループ

 

※1:内容は一部変更になる場合がございます。

※2:各設備・装置に関することについては、takasaki-kyoyo@qst.go.jpにお問い合わせください。