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量子応用光学研究部

X線超微細加工技術研究Prj

掲載日：2025年4月1日更新
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研究の概要

物質表面への超微細加工と計測技術の開発、そして、高強度レーザーの開発技術を基盤とした遠隔検知技術の開発の2つを柱とした研究を行っています。

 

１．超微細加工・計測技術の開発

これまでに培ってきた高安定・高繰り返し・高コントラストレーザーの開発技術や高繰り返し軟X線レーザーの開発技術を基に、高平均出力コヒーレント軟Ｘ線光源の開発を目指しています（図１）。そして、微小集光技術やパターン描画技術を組み合わせ、ナノメートルスケールの微細構造の形成技術の開発を目指した研究を行います。また、微細構造の形成過程を観察するための計測技術の開発も合わせて進めています。

（図１）ガスのプラズマを発振媒質とする10ヘルツ発振（毎秒10回のレーザー発振）の軟X線レーザーの開発に成功しました（広島大学との共同研究成果）。

（図１）ガスのプラズマを発振媒質とする10ヘルツ発振（毎秒10回のレーザー発振）の軟X線レーザーの開発に成功しました（広島大学との共同研究成果）。

 

２．遠隔検知技術

高強度レーザーを用いたインフラ構造物の非破壊検査技術、レーザー走査センシング技術の高度化開発などの研究を進めています（図２）。QST認定ベンチャー「（株）フォトンラボ」と協働し、非破壊インフラ診断技術の社会実装を進めています。

（図２）レーザー打音装置によるトンネル壁面の劣化計測実験（静岡県富士宮市）

（図２）レーザー打音装置によるトンネル壁面の劣化計測実験（静岡県富士宮市）

 

超微細加工・計測技術や遠隔検知技術の開発を通じて、科学技術の発展に貢献するとともに、スマート社会を支える基盤技術や安全社会の実現に資する技術となることを目指しています。

 

3．中赤外レーザーイメージング技術の開発と医療解析への応用

​中赤外レーザーは見えない光で、物質中の分子の振動と共鳴します。この特性を利用した顕微イメージング装置の開発に取組んでいます。この技術の発展により従来、必須であった染色が不要な迅速で高精度かつ信頼性の高いがん診断の実現が見込まれます（図３）。

（放射線医学研究所と量子生命科学研究所との連携研究）

可視顕微鏡と中赤外・顕微イメージング装置による取得画像の比較

（図３）　可視顕微鏡と中赤外・顕微イメージング装置による取得画像の比較

 

メンバー

石野　雅彦 プロジェクトリーダー researchmap｜ORCID
長谷川　登 上席研究員  
米谷　佳晃 上席研究員 researchmap
赤羽　温 主幹研究員 researchmap
青山　誠 主幹研究員 researchmap
ヂン　タンフン 主任研究員  
佐々木　明 専門業務員  
栗山　玲温 QSTリサーチアシスタント  

 

業績リスト（論文、受賞、プレス発表など）

論文　[査読付き論文]　（2018年～）

2025年

  • “Modeling of EUV Spectrum from Laser-Produced Sn Plasmas”, A. Sasaki, Plasma Fusion Research 20, 2401007 (2025); DOI: 10.1585/pfr.20.2401007.
  • “Molecular dynamics study on clustered DNA damage: AP sites on the same strand”, K. Terakawa, S. Fujiwara, T. Mizuguchi, H. Nakamura, K. Akamatsu, N. Shikazono, Y. Yonetani, Biophysical Chemistry, 319, 107394, (2025); DOI: 10.1016/j.bpc.2025.107394.
  • “Highly Stable and Efficient Spatiotemporal Filtering in Cross-Polarized Wave Generation via Nonlinearity Tailoring in Multi-Plate Crystals”, T. -H. Dinh, M. Mori, K. Nagashima, S. Kojima, N. Hasegawa, M. Ishino, M. Hata, H. Okada, M. Aoyama, T. Miyatake, H. Sakaki, M. Kando, T. Shirai, M. Nishikino, and K. Kondo, Optics Express 33(10), 21318–21327 (2025); DOI: 10.1364/OE.561774.
  • “プラズマシミュレーションのキャリア形成のモデリングへの応用”, 佐々木 明, プラズマ核融合学会誌 101, 10 (2025). 2024.

2024年

  • “On the self-assembly of polarization domain observed in the relaxor ferroelectrics Pb[(Mg1/3Nb2/3)0.722Ti0.278]O3”, K. Namikawa, M. Ishino, K. Ohwada, E. Matsushita, N. Hasegawa, and M. Nishikino, Journal of Physics and Chemistry of Solids 192, 112106-1-112106-3 (2024); DOI: 10.1016/j.jpcs.2024.112106.
  • ​“Unsolved problem of long-range interactions: Dipolar spin-ice study”, Y. Yonetani, Journal of Physics: Condensed Matter 36, 175401 (2024); DOI 10.1088/1361-648X/ad1ca6. 
  • “Effect of multiply excited states to the EUV emission from yttrium-like tin”, A. Sasaki, Applied Physics Letters, 124, 064104 (2024); DOI: 10.1063/5.0187576.
  • “Ablation study using soft x-ray laser”, M. Ishino, K. Mikami, T.-H. Dinh, and M. Nishikino, Photonics Review 2024, 240202 (2024); DOI: 10.11470/photo.240202.
  • “Metrology for sub-Rayleigh-length target positioning in ~10^22 W/cm^2 laser-plasma experiments”, E. A. Vishnyakov, A. Sagisaka, K. Ogura, T. Zh. Esirkepov, B. Gonzalez Izquierdo, C. Armstrong, T. A. Pikuz, S. A. Pikuz, W. Yan, T. M. Jeong, S. Singh, P. Hadjisolomou, O. Finke, G. M. Grittani, M. Nevrkla, C. M. lazzarini, A. Velyhan, T. Hayakawa, Y. Fukuda, J. K. Koga, M. Ishino, Ko. Kondo, Y. Miyasaka, A. Kon, M. Nishikino, Y. V. Nosach, D. Khikhlukha, I. P. Tsygvintsev, D. Kumar, J. Nejdl, D. Margarone, P. V. Sasorov, S. Weber, M. Kando, H. Kiriyama, Y. Kato, G. Korn, K. Kondo, S. V. Bulanov, T. Kawachi, and A. S. Pirozhkov, High Power Laser Science and Engineering 12, e32 (2024); DOI: 10.1017/hpl.2024.11.
  • “On the self-assembly of polarization domain observed in the relaxor ferroelectrics Pb[(Mg1/3Nb2/3)0.722Ti0.278]O3”, K. Namikawa, M. Ishino, K. Ohwada, E. Matsushita, N. Hasegawa, and M. Nishikino, Journal of Physics and Chemistry of Solids 192, 112106 (2024); DOI: 10.1016/j.jpcs.2024.112106.
  • “Analyzing hydroxyl radical accessibility related to hydrogen abstraction in a DNA sugar moiety using biased molecular dynamics simulations”, R. Kawanami, S. Fujiwara, Y. Yonetani, and T. Aso, AIP Advances 14, 105318 (2024); DOI: 10.1063/5.0229017. 
  • “Three-Dimensional Surface Analysis of Iron-Based Materials Using Synchrotron Mössbauer Source”, K. Fujiwara, T. Mitsui, N. Hasegawa, M. Nishikino, Y. Kobayashi, K. Mibu, K. Shinoda, R. Masuda, and M. Seto, Applied Physics Express 17, 082002 (2024); DOI: 10.35848/1882-0786/ad67a8. 
  • “弾性波法による波形エネルギーを用いたコンクリート内部のうき・剥離の損傷レベル評価指標に関する研究”, 戸本悟史, 松永輝, 山田悠貴, 山根立行, 辻󠄀健斗, 中村光, 三浦泰人, 長谷川登, 土木学会 構造工学論文集 70A, 728 (2024).​

2023年

  • “Damage threshold of LiF crystal irradiated by femtosecond hard XFEL pulse sequence”, S. Makarov, S. Grigoryev, N. Inogamov, E. Filippov, T. Pikuz, N. Ozaki, M. Ishino, M. Nishikino, T. -H. Dinh, T. Kawachi, M. Zanaveskin, M. Makita, M. Nakatsutsumi, T. R. Preston, K. Appel, Z. Konopkova, V. Cerantola, E. Brambrink, J. -P. Schwinkendorf, I. Mohacsi, V. Vozda, V. Hajkova, T. Burian, J. Chalupsky, L. Juha, V. Zhakhovsky, U. Zastrau, and S. Pikuz, Optics Express 31, 26383-26397 (2023); DOI: 10.1364/OE.486868. 
  • “Induction heating for desorption of surface contamination for high-repetition laser-driven heavy-ion acceleration”, S. Kojima, T. Miyatake, H. Sakaki, H. Kuroki, Y. Shimizu, H. Harada, N. Inoue, T. -H. Dinh, M. Hata, N. Hasegawa, M. Mori, M. Ishino, M. Nishiuchi, K. Kondo, M. Nishikino, M. Kando, T. Shirai, and K. Kondo, Matter and Radiation at Extremes 8, 054002 (2023); DOI: 10.1063/5.0153578. 
  • “Evaluation of the spatial resolution of Gafchromic™ HD-V2 radiochromic film characterized by the modulation transfer function”, T. Miyatake, S. Kojima, H. Sakaki, T. -H. Dinh, I. Takemoto, M. Hata, M. Nishikino, Y. Watanabe, M. Ishino, M. Mori, James K. Koga, Y. Yamamoto, F. Ito, M. Kando, T. Shirai, and K. Kondo, AIP Advances 13, 085303 (2023); DOI: 10.1063/5.0160754. 
  • “Sub-nanometer scale depth patterning on sapphire crystal by femtosecond soft x-ray laser pulse irradiation”, K. Mikami, M. Ishino, H. Motoyama, T. -H. Dinh, S. Yokomae, G. Yamaguchi, S. Egawa, K. Sakaue, H. Mimura, T. Higashiguchi, Y. Kubota, S. Owada, A. Iwasaki, Y. Inubushi, and M. Nishikino, Optics Letters 48, 5041–5044 (2023); DOI: 10.1364/ol.501589.
  • “Joint measurement of electron density, temperature, and emission spectrum of Nd:YAG laser-produced tin plasma”, Y. Pan, K. Tomita, A. Sunahara, A. Sasaki, K. Nishihara, Applied Physics Letters 123, 204103 (2023); DOI: 10.1063/5.0174185. 
  • “Spectral shift and split of harmonic lines in propagation affected high harmonic generation in a long-interaction gas tube”, J. Seres, E. Seres, C. Serrat, T. Dinh, N. Hasegawa, M. Ishino, M. Nishikino, and S. Namba, Atoms 11, 150 (2023); DOI: 10.3390/atoms11120150.
  • “静電相互作用の実空間カットオフについての理論的検証”, 米谷佳晃, 分子シミュレーション学会誌アンサンブル 102, 167–170 (2023). 
  • “レーザー打音検査装置によるトンネル覆工コンクリートの診断支援技術の高度化”, 戸本悟史, 長谷川登, 岡田大, 近藤修司, 錦野将元, 中村光, 日本工業出版・検査技術 28, 7–14 (2023). 
  • “ジュール級パルスレーザーによるインフラ先進診断 -レーザー打音法-“, 長谷川登, 錦野将元, 岡田大, 近藤修司, 坂本勝哉, 木暮繁, 安倍正道, 戸本悟史, 中村光, レーザー研究 51, 579–584 (2023). 
  • “軟Ｘ線レーザーによる表面ナノ加工技術”, 石野雅彦, 日刊工業出版・クリーンテクノロジー誌 33, 71–75 (2023).​

2022年

  • “ラスター(格子状)スキャン機能を有するレーザー打音検査装置を用いたトンネル覆工コンクリートの診断支援技術の高度化に関する研究” 戸本悟史, 長谷川登, 岡田大, 近藤修司, 北村俊幸, 三上勝大, 錦野将元, 中村光, 構造工学論文集 68A, 671-684 (2022).
  • “Nonlinear propagation effect in x-ray parametric amplification during high harmonic generation” J. Seres, E. Seres, C. Serrat, T.H. Dinh, N. Hasegawa, M. Ishino, M. Nishikino, S. Namba, Journal of the Optical Society of America B 39, 1263-1271 (2022).
  • “Defect detection of concrete in infrastructure based on Rayleigh wave propagation generated by laser-induced plasma shock waves” S. Wakata , N. Hosoya, N. Hasegawa, M. Nishikino, International Journal of Mechanical Sciences 218, 107039 (2022).
  • “Modeling the wavelength of unresolved transition arrays in the extreme ultraviolet region from Sn to Hf ions by combining theoretical and experimental spectral data” A. Sasaki, I. Murakami, H. Sakaue, K. Fujii, T. Nishikawa, H. Ohashi, N. Nakamura, AIP advances 12, 025309 (2022).

2021年

  • “Improvement of ignition and burning target design for fast ignition scheme” H. Nagatomo, T. Johzaki, M. Hata, Y. Sentoku, S. Fujioka, K. Mima, H. Sakagami, Nuclear Fusion 61, 126032 (2021).
  • “Dielectric continuum model examination of real-space electrostatic treatments” Y. Yonetani, Journal of Chemical Physics 154, 044103 (2021).
  • “Pulse duration constraint of whistler waves in magnetized dense plasma” M. Hata, T. Sano, S. Yasuhiko, H. Nagatomo, H. Sakagami, Physical Review E 104, 035205 (2021).
  • “Independent contribution of optical attenuation length in ultrafast laser-induced structural change” T. Shibuya , K. Sakaue, H. Ogawa, D. Satoh, T.H. Dinh, M. Ishino , M. Tanaka, M. Washio, T. Higashiguchi, M. Nishikino , A. Kon, Y. Kubota, Y. Inubushi, S. Owada, Y. Kobayashi, R. Kuroda, Optics Express 29, 33121-33133 (2021).
  • “分子動力学法を用いたDNAテロメア構造中バックボーン水素の溶媒接触表面積の評価” 土田陽平, 齋藤誠紀, 中村浩章, 米谷佳晃, 藤原進, 日本シミュレーション学会論文誌 13, 32-36 (2021).
  • “DNAの水和構造から放射線損傷サイトを検証する ” 米谷佳晃, 放射線化学 112, 21-25 (2021).
  • “Dependence of dose rate on the sensitivity of the resist under ultra-high flux extreme ultraviolet (EUV) pulse irradiation” K. Okamoto , S. Kawai, Y. Ikari, S. Hori, A. Konda, K. Ueno, Y. Arai, M. Ishino, T.H. Dinh, M. Nishikino , A. Kon, S. Owada, Y. Inubushi, H. Kinoshita, T. Kozawa, Applied Physics Express 14, 066502 (2021).
  • “Liquid structure of tantalum under internal negative pressure” K. Katagiri, N. Ozaki, S. Omura, ‪B. Albertazzi‬, Y. Hironaka, Y. Inubushi, K. Ishida, M. Koenig, K. Miyanishi, H. Nakamura, M. Nishikino, T. Okuchi, T. Sato, Y. Seto, K. Shigemori, K. Soeda, Y. Tange, T. Togashi, Y. Umeda, M. Yahashi, T. Yabuchi, R. Kodama, Physical Review Letters 126, 175503 (2021).

2020年

  • “Underst“Demonstration of High-Speed Laser Hammering System for the Lining Concrete Inspection” 長谷川登, 錦野将元, 岡田大, 近藤修司, 北村俊幸, 木暮繁, 安部正道, 舛添和久, ITA-AITES World Tunnel Congress, WTC2020 and 46th General Assembly Kuala Lumpur, Malaysia 11-17 September 2020, 46, 653-656, (2020)
  • “Understanding water-mediated DNA damage production by molecular dynamics calculation of solvent accessibility” Y. Yonetani, H. Nakagawa, Chemical Physics Letters 749, 137441 (2020).
  • “Laser-induced damage thresholds and mechanism of silica glass induced by ultra-short soft X-ray laser pulse irradiation” K. Mikami, M. Ishino, T.-H. Dinh, S. Motokoshi, N. Hasegawa, A. Kon, Y. Inubushi, S.Owada, H. Kinoshita, M. Nishikino, Optics Letters 45, 2435-2438 (2020).
  • “Development of a soft x-ray laser beamline for irradiation-induced surface processing studies” M. Ishino, T-H Dinh, Y. Hosaka, N. Hasegawa, K. Yoshimura, H.Yamamoto, T. Hatyano, T. Higashiguchi, K. Sakaue, S. Ichimaru, M. Hatayama, A. Sasaki, M.Washio, M. Nishikino, Y. Maekawa, Applied Optics 59, 3692-3698 (2020).

2019年

  • “Optimized highly charged ion production for strong soft x-ray sources obeying a quasi-Moseley’s law”, Y. Shimada, H. Kawasaki, K. Watanabe, H. Hara, K. Anraku, M. Shoji1, T. Oba, M. Matsuda, W. Jiang, A. Sunahara, M. Nishikino, S. Namba, G. O’Sullivan, T. Higashiguchi, AIP Advances 9, 115315 (2019).
  • “Mesoscopic hierarchic polarization structure in relaxor ferroelectrics Pb[(Mg1/3Nb2/3)1-xTix]O3” K. Namikawa, M. Ishino, M. Matsushita, K. Ohwada, M. Kishimoto, J. Mizuki, N. Hasegawa, M. Nishikino, Physical Review B 100, 184110 (2019).
  • “Laser resonance frequency analysis: A novel measurement approach to evaluate acetabular cup stability during surgery” S. Kikuchi, K. Mikami, D. Nakashima, T. Kitamura, N. Hasegawa, M. Nishikino, A. Kanaji, M. Nakamura, T. Nagura, Sensors 19, 4876 (2019).
  • “Controlling the Response of Silicon to Strong Excitation – Prospect towards Processing Materials at Sub-nanometer Precision”,  T.-H. Dinh, N. Medvedev, M. Ishino,.T, Kitamura, N. Hasegawa, T. Otobe, T. Higashiguchi, K. Sakaue, M. Washio, T. Hatano, A. Kon, Y. Kubota, Y. Inubushi, S. Owada, T. Shibuya, B. Ziaja, and M. Nikishino, Communication Physics 2, 150 (2019).
  • “Sensitivity Enhancement of Poly(methyl methacrylate) upon Exposure to Picosecond-Pulsed Extreme Ultraviolet” Y. Hosaka, T.G. Oyama, H. Yamamoto, M. Ishino, T.-H. Dinh, M. Nishikino, Y. Maekawa, Applied Physics Letters 115, 073109 (2019).
  • “Atomic kinetics calculations of complex highly-charged ions in plasmas in non-local thermodynamic equilibrium by using a Monte-Carlo approach”, A. Sasaki, R. More, K. Fujii, D. Kato, and I. Murakami, High Energy Density Physics 32, 051-7 (2019).
  • “An estimation of line width roughness of photoresists for the extreme ultraviolet lithography due to photon shot noise using the percolation model” A. Sasaki, M.Ishino, and M. Nishikino, Jpn. J. Appl. Phys. 58, 055002 (2019).
  • “Enhancement of water-window soft X-ray emission from laser produced Au plasma under low-pressure nitrogen atmosphere” C. John, M. Kishimoto, T. Johzaki, T. Higashiguchi, N. Kakunaka, Y. Matsumoto, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. Ejima, A. Sunahara, T. Endo, and S. Namba, Optics Letters 44, 1439-1442 (2019).

2018年

  • “Deep-hole drilling of amorphous silica glass by extreme ultraviolet femtosecond pulses” T. Shibuya, T. Takahashi, K. Sakaue, T.-H. Dinh, H. Hara, T. Higashiguchi, M. Ishino, Y. Koshiba, M. Nishikino, H. Ogawa, M. Tanaka, M. Washio, Y. Kobayashi, R. Kuroda Applied Physics Letters 113, 171902 (2018).
  • “Spectral dynamics of soft x-ray emission in dual laser-produced medium-Z plasma” H. Ohashi, H. Hara, G. Arai, T. Hatano, T. Ejima, C. Suzuki, S. Namba, A. Sasaki, M. Nishikino, G. O’Sullivan, and T. Higashiguchi, Applied Physics B, 124, 1-6 (2018).
  • “Study of damage structure formation on aluminum film targets by picosecond soft X-ray laser ablation around threshold region” M. Ishino, N. A. Inogamov, S. Tamotsu, V. V. Zhakhovsky, N. Hasegawa, I. Y. Skobelev, A. Y. Faenov, T. A. Pikuz, K. Mikami, T. Kawachi, M. Nishikino, Applied Physics A 124, 649 (2018).
  • “Intense water-window soft x-ray emission by spectral control using dual laser pulses” G. Arai, H. Hara, T. Hatano, T. Ejima, W. Jiang, H. Ohashi, S. Namba, A. Sunahara, A. Sasaki, M. Nishikino, G. O’Sullivan, T. Higashiguchi, Optics Express 26, 27748-27756 (2018).
  • “Emission of water-window soft x-rays under optically thin conditions using low-density foam targets“, H. Hara, H. Kawasaki, T. Tamura, T. Hatano, T. Ejima, W. Jiang, H. Ohashi, S. Namba, A. Sunahara, A. Sasaki, M. Nishikino, G. O’Sullivan, T. Higashiguchi, Optics Letters 43, 3750-3753 (2018).

表彰、受賞等

  • 長谷川登，ポスター賞受賞：高強度コヒーレント光源を利用した加工技術・遠隔観測技術の開発，部門間交流会，量研稲毛（7/20~21）.
  • 優秀技術開発賞：道路政策の質の向上に資する技術研究開発「レーザー打音検査装置を用いた橋梁・トンネル等の道路構造物のうき・剥離の定量的データ化による診断技術の技術研究開発」（令和3年度採択），国土交通省新道路技術会議（11/15）.
  • 栗山玲温（実習生 京都工繊大M1）, Student Poster Presentation Award受賞, The 43rd JSST Annual International Conference on Simulation Technology & The 23rd Asia Simulation Conference (JSST2024&AsiaSim2024) （9/20）.

​プレス発表（2018年～）

  • “（95）究極のリソグラフィー技術”, 「量子科学技術でつくる未来：光による量子制御」（佐々木明）日刊工業新聞連載記事（5/25掲載）.
  • “（97）軟X線レーザーで超微細加工”, 「量子科学技術でつくる未来：光による量子制御」（石野雅彦）日刊工業新聞連載記事（6/8掲載）.
  • 「～人の手に頼らないロボット点検技術のイノベーション～道路橋のレーザー打音検査によるリモート検査の実証実験」，建設技術研究所, 量研（錦野将元, 長谷川登, 岡田大, 近藤修司）, 名古屋大学, 計測検査, フォトンラボ（5/30）.
  • 「道路政策の質の向上に資する技術研究開発（令和3年度採択）において優秀技術開発賞を受賞しました」，建設技術研究所, 東海国立大学機構（名古屋大学）, 量研（錦野将元, 長谷川登, 岡田大, 近藤修司）, 計測検査, フォトンラボ（11/15）.
  • 人工股関節カップの設置強度を術中評価する技術を開発 －より安全で正確な人工股関節置換術へ期待－
  • 慶応義塾大学, 近畿大学, QST (2020/1/23)
  • 超短パルス軟Ｘ線レーザーの表面加工メカニズム解明, 科学新聞 (1/1, 8面)
  • 超短パルス軟Ｘ線レーザー特有の表面加工メカニズムを解明, 電波新聞 (12/6, 10面)
  • 最新レーザー技術でトンネル点検, 静岡NEWS (12/18：20:45放送), 静岡NEWS WEB(12/19）
  • 富士宮市トンネル点検にレーザー活用, NNN News(12/18), 静岡朝日テレビニュース放送(12/20)
  • 極端紫外線レーザーによりほとんど熱影響のない材料加工を実現, －レーザー加工メカニズムの解明や最適加工の実現に期待－, 産総研・東大・早稲田大・量研・宇都宮大（10/22）
  • レーザー打音検査装置の社会実証実験, レーザーで欠陥発見コンクリ内部検査、速さ20倍に, 朝日新聞(6/24), 朝日新聞web（6/23）

特許・知財等

  • “光計測ヘッド，内視鏡，及び光計測方法”, 五十嵐龍治，神長輝一，増山雄太，森岡孝満，今岡達彦，青山誠，山川考一，特願2025-004284 （2025/1/10出願）.
  • “Laser device, light source, and measurement apparatus, and method for using a laser device”, Y. Akahane, M. Aoyama, K. Ogawa and K. Yamakawa, U.S. patent 12027814B2（2024/7/2登録）.
  • “生体組織識別装置，生体組織識別システム，生体組織識別方法及びプログラム”, 青山誠，森岡孝満，山川考一，今岡達彦，特願2024-39379 （2024/3/13出願）.
  • “Laser device, light source, and measurement device”, Y. Akahane, M. Aoyama, K. Ogawa and K. Yamakawa, EP3680998（2023/6/14登録）.
  • “Laser device, light source, and measurement apparatus”, Y. Akahane, M. Aoyama, K. Ogawa and K. Yamakawa, U.S. patent 11482831B2（2022/10/25登録）.
  • “インプラント設置強度評価方法，インプラント設置強度評価装置，およびプログラム”, 錦野将元, 長谷川登, 三上勝大, 北村俊幸, 近藤修司, 岡田大，国際特許（US）， 11737705（8/29登録）.
  • “計測装置，計測システム，移動体，および計測方法”, 錦野将元, 長谷川登, 三上勝大, 北村俊幸, 近藤修司, 岡田大, 河内哲哉，国際特許（インド），451962（9/15登録）.
  • “損傷評価装置及び損傷評価用プログラム”, 長谷川登, 錦野将元, 岡田大, 近藤修司，特願2023-122463 （7/27出願）.
  • “顕微計測方法及び顕微計測装置”，藤原孝将, 三井隆也, 長谷川登，特願2023-147113 （9/11出願）.
  • “表面造形方法及び表面造形装置”, 石野雅彦, ヂンタンフン, 錦野将元, 鷲尾方一, 東口武史, 坂上和之, 特許第7590708号 (2024/11/19).
  • “IMPLANT INSTALLATION STRENGTH EVALUATION METHOD, IMPLANT INSTALLATION STRENGTH EVALUATION DEVICE, AND PROGRAM”, M. Nishikino, N. Hasegawa, S. Kondo, and H. Okada, EP3682842
  • “パルス整形装置及びパルス整形方法”, 錦野将元,  森道昭,  ヂンタンフン,  小島完興,  北村俊幸,  長谷川登, 近藤公伯, 特許第7614649号
  • “レーザー装置，光源および測定装置”, 赤羽, 青山, 小川, 山川, 特許第6551898（2019/7/12登録）

招待講演, 研究会

  • “Development of remote inspection system for the bridge concrete using high power lasers”, N. Hasegawa, M. Nishikino, H. Okada, S. Kondo, K. Sakamoto, S. Kogure, S. Tomoto, Y. Yamada, and H. Nakamura, Laser Solutions for Space and the Earth 2023 (4/17~21, Pacifico Yokohama).
  • “Development of a laser hammering system for tunnel and bridge concrete inspection using the high-power lasers”, N. Hasegawa, Quantum Beam Application for Sciences and Industries 2023 (4/24~27, Osaka Univ.)
  • “Soft x-ray laser ablation study and development of coherent x-ray sources for surface processing”, M. Ishino, The 18th International Conference on X-Ray Lasers (7/17~21, Shanghai).
  • “Study on initial process of femtosecond soft x-ray laser ablation”, T. -H. Dinh, M. Ishino, N. Hasegawa, Y. Yonetani, M. Hata, M. Nishikino, The 12th Asia-Pacific Laser Symposium 2023 (9/4~7, Hakodate).
  • 「関西研におけるダイヤモンド照射実験」，石野雅彦, 第2 回光量子・量子機能創成連携ワークショップ (8/30，量研高崎研).
  • “Soft X-Ray Laser Ablation Toward to Nanometer-Scale Depth Surface Patterning”, M. Ishino, Advanced Lasers and Photon Sources 2024 (4/26, Pacifico Yokohama).
  • “Development and social implementations of laser hammering inspection for infrastructures”, N. Hasegawa, M. Nishikino, H. Okada, S. Kondo, K. Sakamoto, S. Kogure, S. Tomoto, Y. Yamada, T. Somekawa, S. Kurahashi, and H. Nakamura, Laser Solutions for Space and the Earth 2024 (4/26, Pacifico Yokohama).
  • “超微細加工に向けた小型レーザー駆動プラズマ軟X線レーザーの開発”, ヂンタンフン,レーザー学会第589回研究会「次世代レーザー加工」(9/9, NanoTerasu).
  • “Comparison between calculated and experimental spectrum from laser-produced tin plasmas“, A. Sasaki, 2024 Source Workshop (10/22, Amsterdam, Netherlands). 
  • “超短パルス軟X線レーザ特有の表面加工”, 石野雅彦, 精密工学会第440回講習会 (11/18, 明治大学).
  • “軟X線光学素子の効率測定と照射損傷閾値の定量評価”, 石野雅彦, 次世代VUV光学素子とその評価法研究会, (11/27, 東北大学).
  • “レーザーを利用したインフラメンテナンス技術の開発と実装”, 長谷川登, 多元技術融合光プロセス研究会 (12/9, 御茶ノ水トライエッジカンファレンス).
  • “Integration of X-rays and visible light toward innovative applications”, T. -H. Dinh, SPIE Optics + Optoelectronics 2025（4/9, プラハ，チェコ共和国）
  • “軟X線レーザーによるアブレーション研究”, 石野雅彦, 日本表面真空学会SP部会第182回定例研究会（5/29, 岡山市）
  • “Atomic model to model EUV emission spectrum and to produce the opacity table of tin”, A. Sasaki, 2025 EUVL Source Workshop （6/24, MIT Lincoln Laboratory 米国）
  • “高強度レーザーを利用したインフラ点検技術の開発と社会実装”, 長谷川登, 光・量子ビーム科学合同シンポジウム2025（OPTO2025）（6/26, 大阪大学）

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関西光量子科学研究所

量子応用光学研究部