X線超微細加工技術研究Prj

量子応用光学研究部　X線超微細加工技術研究Prj

研究の概要

物質表面への超微細加工と計測技術の開発、そして、高強度レーザーの開発技術を基盤とした遠隔検知技術の開発の2つを柱とした研究を行っています。

１．超微細加工・計測技術の開発

これまでに培ってきた高安定・高繰り返し・高コントラストレーザーの開発技術や高繰り返し軟X線レーザーの開発技術を基に、高平均出力コヒーレント軟Ｘ線光源の開発を目指しています（図１）。そして、微小集光技術やパターン描画技術を組み合わせ、ナノメートルスケールの微細構造の形成技術の開発を目指した研究を行います。また、微細構造の形成過程を観察するための計測技術の開発も合わせて進めています。

（図１）ガスのプラズマを発振媒質とする10ヘルツ発振（毎秒10回のレーザー発振）の軟X線レーザーの開発に成功しました（広島大学との共同研究成果）。

２．遠隔検知技術

高強度レーザーを用いたインフラ構造物の非破壊検査技術、レーザー走査センシング技術の高度化開発などの研究を進めています（図２）。QST認定ベンチャー「（株）フォトンラボ」と協働し、非破壊インフラ診断技術の社会実装を進めています。

（図２）レーザー打音装置によるトンネル壁面の劣化計測実験（静岡県富士宮市）

超微細加工・計測技術や遠隔検知技術の開発を通じて、科学技術の発展に貢献するとともに、スマート社会を支える基盤技術や安全社会の実現に資する技術となることを目指しています。

メンバー

業績リスト（論文、受賞、プレス発表など）

論文　[査読付き論文]　（2018年～）

2022年

• “ラスター(格子状)スキャン機能を有するレーザー打音検査装置を用いたトンネル覆工コンクリートの診断支援技術の高度化に関する研究” 戸本悟史, 長谷川登, 岡田大, 近藤修司, 北村俊幸, 三上勝大, 錦野将元, 中村光, 構造工学論文集 68A, 671-684 (2022).
• “Nonlinear propagation effect in x-ray parametric amplification during high harmonic generation” J. Seres, E. Seres, C. Serrat, T.H. Dinh, N. Hasegawa, M. Ishino, M. Nishikino, S. Namba, Journal of the Optical Society of America B 39, 1263-1271 (2022).
• “Defect detection of concrete in infrastructure based on Rayleigh wave propagation generated by laser-induced plasma shock waves” S. Wakata , N. Hosoya, N. Hasegawa, M. Nishikino, International Journal of Mechanical Sciences 218, 107039 (2022).
• “Modeling the wavelength of unresolved transition arrays in the extreme ultraviolet region from Sn to Hf ions by combining theoretical and experimental spectral data” A. Sasaki, I. Murakami, H. Sakaue, K. Fujii, T. Nishikawa, H. Ohashi, N. Nakamura, AIP advances 12, 025309 (2022).

2021年

• “Improvement of ignition and burning target design for fast ignition scheme” H. Nagatomo, T. Johzaki, M. Hata, Y. Sentoku, S. Fujioka, K. Mima, H. Sakagami, Nuclear Fusion 61, 126032 (2021).
• “Dielectric continuum model examination of real-space electrostatic treatments” Y. Yonetani, Journal of Chemical Physics 154, 044103 (2021).
• “Pulse duration constraint of whistler waves in magnetized dense plasma” M. Hata, T. Sano, S. Yasuhiko, H. Nagatomo, H. Sakagami, Physical Review E 104, 035205 (2021).
• “Independent contribution of optical attenuation length in ultrafast laser-induced structural change” T. Shibuya , K. Sakaue, H. Ogawa, D. Satoh, T.H. Dinh, M. Ishino , M. Tanaka, M. Washio, T. Higashiguchi, M. Nishikino , A. Kon, Y. Kubota, Y. Inubushi, S. Owada, Y. Kobayashi, R. Kuroda, Optics Express 29, 33121-33133 (2021).
• “分子動力学法を用いたDNAテロメア構造中バックボーン水素の溶媒接触表面積の評価” 土田陽平, 齋藤誠紀, 中村浩章, 米谷佳晃, 藤原進, 日本シミュレーション学会論文誌 13, 32-36 (2021).
• “DNAの水和構造から放射線損傷サイトを検証する ” 米谷佳晃, 放射線化学 112, 21-25 (2021).
• “Dependence of dose rate on the sensitivity of the resist under ultra-high flux extreme ultraviolet (EUV) pulse irradiation” K. Okamoto , S. Kawai, Y. Ikari, S. Hori, A. Konda, K. Ueno, Y. Arai, M. Ishino, T.H. Dinh, M. Nishikino , A. Kon, S. Owada, Y. Inubushi, H. Kinoshita, T. Kozawa, Applied Physics Express 14, 066502 (2021).
• “Liquid structure of tantalum under internal negative pressure” K. Katagiri, N. Ozaki, S. Omura, ‪B. Albertazzi‬, Y. Hironaka, Y. Inubushi, K. Ishida, M. Koenig, K. Miyanishi, H. Nakamura, M. Nishikino, T. Okuchi, T. Sato, Y. Seto, K. Shigemori, K. Soeda, Y. Tange, T. Togashi, Y. Umeda, M. Yahashi, T. Yabuchi, R. Kodama, Physical Review Letters 126, 175503 (2021).

2020年

• “Underst“Demonstration of High-Speed Laser Hammering System for the Lining Concrete Inspection” 長谷川登, 錦野将元, 岡田大, 近藤修司, 北村俊幸, 木暮繁, 安部正道, 舛添和久, ITA-AITES World Tunnel Congress, WTC2020 and 46th General Assembly Kuala Lumpur, Malaysia 11-17 September 2020, 46, 653-656, (2020)
• “Understanding water-mediated DNA damage production by molecular dynamics calculation of solvent accessibility” Y. Yonetani, H. Nakagawa, Chemical Physics Letters 749, 137441 (2020).
• “Laser-induced damage thresholds and mechanism of silica glass induced by ultra-short soft X-ray laser pulse irradiation” K. Mikami, M. Ishino, T.-H. Dinh, S. Motokoshi, N. Hasegawa, A. Kon, Y. Inubushi, S.Owada, H. Kinoshita, M. Nishikino, Optics Letters 45, 2435-2438 (2020).
• “Development of a soft x-ray laser beamline for irradiation-induced surface processing studies” M. Ishino, T-H Dinh, Y. Hosaka, N. Hasegawa, K. Yoshimura, H.Yamamoto, T. Hatyano, T. Higashiguchi, K. Sakaue, S. Ichimaru, M. Hatayama, A. Sasaki, M.Washio, M. Nishikino, Y. Maekawa, Applied Optics 59, 3692-3698 (2020).

2019年

• “Optimized highly charged ion production for strong soft x-ray sources obeying a quasi-Moseley’s law”, Y. Shimada, H. Kawasaki, K. Watanabe, H. Hara, K. Anraku, M. Shoji1, T. Oba, M. Matsuda, W. Jiang, A. Sunahara, M. Nishikino, S. Namba, G. O’Sullivan, T. Higashiguchi, AIP Advances 9, 115315 (2019).
• “Mesoscopic hierarchic polarization structure in relaxor ferroelectrics Pb[(Mg1/3Nb2/3)1-xTix]O3” K. Namikawa, M. Ishino, M. Matsushita, K. Ohwada, M. Kishimoto, J. Mizuki, N. Hasegawa, M. Nishikino, Physical Review B 100, 184110 (2019).
• “Laser resonance frequency analysis: A novel measurement approach to evaluate acetabular cup stability during surgery” S. Kikuchi, K. Mikami, D. Nakashima, T. Kitamura, N. Hasegawa, M. Nishikino, A. Kanaji, M. Nakamura, T. Nagura, Sensors 19, 4876 (2019).
• “Controlling the Response of Silicon to Strong Excitation – Prospect towards Processing Materials at Sub-nanometer Precision”,  T.-H. Dinh, N. Medvedev, M. Ishino,.T, Kitamura, N. Hasegawa, T. Otobe, T. Higashiguchi, K. Sakaue, M. Washio, T. Hatano, A. Kon, Y. Kubota, Y. Inubushi, S. Owada, T. Shibuya, B. Ziaja, and M. Nikishino, Communication Physics 2, 150 (2019).
• “Sensitivity Enhancement of Poly(methyl methacrylate) upon Exposure to Picosecond-Pulsed Extreme Ultraviolet” Y. Hosaka, T.G. Oyama, H. Yamamoto, M. Ishino, T.-H. Dinh, M. Nishikino, Y. Maekawa, Applied Physics Letters 115, 073109 (2019).
• “Atomic kinetics calculations of complex highly-charged ions in plasmas in non-local thermodynamic equilibrium by using a Monte-Carlo approach”, A. Sasaki, R. More, K. Fujii, D. Kato, and I. Murakami, High Energy Density Physics 32, 051-7 (2019).
• “An estimation of line width roughness of photoresists for the extreme ultraviolet lithography due to photon shot noise using the percolation model” A. Sasaki, M.Ishino, and M. Nishikino, Jpn. J. Appl. Phys. 58, 055002 (2019).
• “Enhancement of water-window soft X-ray emission from laser produced Au plasma under low-pressure nitrogen atmosphere” C. John, M. Kishimoto, T. Johzaki, T. Higashiguchi, N. Kakunaka, Y. Matsumoto, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. Ejima, A. Sunahara, T. Endo, and S. Namba, Optics Letters 44, 1439-1442 (2019).

2018年

• “Deep-hole drilling of amorphous silica glass by extreme ultraviolet femtosecond pulses” T. Shibuya, T. Takahashi, K. Sakaue, T.-H. Dinh, H. Hara, T. Higashiguchi, M. Ishino, Y. Koshiba, M. Nishikino, H. Ogawa, M. Tanaka, M. Washio, Y. Kobayashi, R. Kuroda Applied Physics Letters 113, 171902 (2018).
• “Spectral dynamics of soft x-ray emission in dual laser-produced medium-Z plasma” H. Ohashi, H. Hara, G. Arai, T. Hatano, T. Ejima, C. Suzuki, S. Namba, A. Sasaki, M. Nishikino, G. O’Sullivan, and T. Higashiguchi, Applied Physics B, 124, 1-6 (2018).
• “Study of damage structure formation on aluminum film targets by picosecond soft X-ray laser ablation around threshold region” M. Ishino, N. A. Inogamov, S. Tamotsu, V. V. Zhakhovsky, N. Hasegawa, I. Y. Skobelev, A. Y. Faenov, T. A. Pikuz, K. Mikami, T. Kawachi, M. Nishikino, Applied Physics A 124, 649 (2018).
• “Intense water-window soft x-ray emission by spectral control using dual laser pulses” G. Arai, H. Hara, T. Hatano, T. Ejima, W. Jiang, H. Ohashi, S. Namba, A. Sunahara, A. Sasaki, M. Nishikino, G. O’Sullivan, T. Higashiguchi, Optics Express 26, 27748-27756 (2018).
• “Emission of water-window soft x-rays under optically thin conditions using low-density foam targets“, H. Hara, H. Kawasaki, T. Tamura, T. Hatano, T. Ejima, W. Jiang, H. Ohashi, S. Namba, A. Sunahara, A. Sasaki, M. Nishikino, G. O’Sullivan, T. Higashiguchi, Optics Letters 43, 3750-3753 (2018).

プレス発表（2018年～）

• 人工股関節カップの設置強度を術中評価する技術を開発 －より安全で正確な人工股関節置換術へ期待－
  慶応義塾大学, 近畿大学, QST (2020/1/23)


• 超短パルス軟Ｘ線レーザーの表面加工メカニズム解明
  科学新聞 (1/1, 8面)


• 超短パルス軟Ｘ線レーザー特有の表面加工メカニズムを解明
  電波新聞 (12/6, 10面)


• 最新レーザー技術でトンネル点検
  静岡NEWS (12/18：20:45放送), 静岡NEWS WEB(12/19）


• 富士宮市トンネル点検にレーザー活用
  NNN News(12/18), 静岡朝日テレビニュース放送(12/20)


• 極端紫外線レーザーによりほとんど熱影響のない材料加工を実現
  －レーザー加工メカニズムの解明や最適加工の実現に期待－
  産総研・東大・早稲田大・量研・宇都宮大（10/22）


• レーザー打音検査装置の社会実証実験
  レーザーで欠陥発見コンクリ内部検査、速さ20倍に
  朝日新聞(6/24), 朝日新聞web（6/23）