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セミナー
第8回KPSIセミナー
応力ダイナミクスから見た透明固体内部の極短パルスレーザー加工
| 講演者 | 坂倉 政明 （京都大学大学院 工学研究科） |
|---|---|
| 職位 | 特定准教授 |
| 場所 | 関西光科学研究所 ITBL棟 G201号室 |
| 日時 | 7月7日（木曜日）14時00分～ |
| 座長 | 坪内 雅明 |
| 使用言語 | 日本語 |
| 要旨 | [PDFファイル／277KB] |
応力ダイナミクスから見た透明固体内部の極短パルスレーザー加工
坂倉 政明 特定准教授
（京都大学大学院 工学研究科）
概要
極短パルスレーザーによる透明固体内部の局所加工技術は、三次元マイクロ流路や三次元光回路などの微細な三次元構造を作製する技術として応用されてきた。極短パルスレーザーによる微細加工の物理が説明される時、「熱拡散より短い光励起」「非熱加工」などという言葉が使われてきた。多くの場合、それらの言葉の意味が理解されずに使われている上に、「非熱加工」という言葉が「温度上昇がない加工」「熱発生を伴わない加工」という間違った解釈につながることもある。
講演者は、透明固体内部の極短パルスレーザー加工のメカニズムを明らかにするために、光励起直後の応力ダイナミクスの観測を行ってきた。その研究から、短いパルス幅が微細加工に有効である理由や過渡応力分布と構造変化の関係が明らかになり、「非熱加工」という言葉でごまかされていた微細加工の物理的理由の一部が明確になった。
本講演では、透明固体内部の極短パルスレーザー加工の基礎と応用について概観し、講演者が行っている応力ダイナミクス観測によるメカニズム解明の研究や多点同時レーザー照射による構造変化の制御の試みについて紹介する。
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