2020年
- 6月11日
Quantum Beam Sci.(QuBS)のCoverに掲載されました。(外部リンク)
- 4月16日
石野雅彦さんの「Soft x-ray laser beamline for surface processing and damage studies」に関する論文がApplied Optics (OSA) 誌に掲載されました。(外部リンク)
- 4月9日
2020年度物質・デバイス領域共同拠点Coreラボ共同研究課題に採択されました。
- 3月27日
山本洋揮さんの「Lamellar orientation of a block copolymer via an electron-beam induced polarity switch in a nitrophenyl self-assembled monolayer or a Si etching treatments」に関する論文がQuantum Beam Sci.（QuBS）誌に掲載されました。(外部リンク)
2019年
- 9月25日
プロジェクト「EUV超微細加工研究」のホームページを公開しました。
- 8月14日
保坂勇志さんの"Sensitivity enhancement of poly(methyl methacrylate) upon exposure to picosecond-pulsed extreme ultraviolet"がApplied Physics Letters 誌に掲載されました。