装置
- KrF・ArF露光システム（KrF・ArF Exposure system）
- 超低エネルギー電子線照射装置（Ultra-low energy electron beam exposure tool）
- 触針型膜厚計（Surface profiler:DektakXT）
- 水晶振動子マイクロバランス(QCM) 現像解析装置(RDA-Qz3)（QCM-type development analyzer)
- レジスト現像解析装置（Resist development analyzer RDA-790EB）
- 干渉型膜厚測定装置（Non-contact film measurement）
- 接触角測定装置（Contact angle）
- スピンコーター
- グローブボックス（Glovebox）
- クリーンベンチ （Clean Bench）
- 遠心分離機（Centrifuge）
