装置
- KrF・ArF露光システム(KrF・ArF Exposure system)
- 超低エネルギー電子線照射装置(Ultra-low energy electron beam exposure tool)
- 触針型膜厚計(Surface profiler:DektakXT)
- 水晶振動子マイクロバランス(QCM) 現像解析装置(RDA-Qz3)(QCM-type development analyzer)
- レジスト現像解析装置(Resist development analyzer RDA-790EB)
- 干渉型膜厚測定装置(Non-contact film measurement)
- 接触角測定装置(Contact angle)
- スピンコーター
- グローブボックス(Glovebox)
- クリーンベンチ (Clean Bench)
- 遠心分離機(Centrifuge)