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プロジェクト「EUV超微細加工研究」

装置-EUV超微細加工研究

掲載日:2020年6月28日更新
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装置

  • KrF・ArF露光システム(KrF・ArF Exposure system)

KrF

  • 超低エネルギー電子線照射装置(Ultra-low energy electron beam exposure tool)

ULEB

  • 触針型膜厚計(Surface profiler:DektakXT)

dektak

  • 水晶振動子マイクロバランス(QCM) 現像解析装置(RDA-Qz3)(QCM-type development analyzer)

qcm

  • レジスト現像解析装置(Resist development analyzer RDA-790EB)

rda

  • 干渉型膜厚測定装置(Non-contact film measurement)

nc-film

  • 接触角測定装置(Contact angle)

ca

  • スピンコーター

spincoat

  • グローブボックス(Glovebox)

glove

  • クリーンベンチ (Clean Bench)

clean

  • 遠心分離機(Centrifuge)

centrifuge