関西光科学研究所 >> プレス発表 >> Liの分析も可能な電子顕微鏡用高エネルギー分解能軟Ｘ線分光器の開発に成功
プレス発表
平成25年11月25日
独立行政法人科学技術振興機構（JST）
日本電子株式会社
国立大学法人東北大学
株式会社島津製作所
独立行政法人日本原子力研究開発機構
発表のポイント
- Li-K発光分析が可能。公称50eVから検出可能
- 高エネルギー分解能。金属AlのAl-Lスペクトルにおけるフェルミ端部で0.3eV分解能を保証
- 検出感度の向上。微量ホウ素など数10ppmが検出可能
- スペクトルマップが収集可能。不等間隔溝回折格子の分光素子、CCDの検出カメラは固定されているため、素子のカバーする全分光領域のスペクトルを一度に測定可能
- 化学結合状態マッピングが可能。高エネルギー分解能であるため、従来の電子プローブマイクロアナライザー利用のルーチンで化学結合状態分析が可能
独立行政法人科学技術振興機構の産学共同シーズイノベーション化事業（育成ステージ）により、日本電子株式会社、東北大学、株式会社島津製作所および独立行政法人日本原子力研究開発機構は、分光素子として電子顕微鏡用に最適な不等間隔溝回折格子を開発し、Liの分析も可能な高分解能軟X線分光器の開発に成功しました。
詳細は下記をご参照ください。（国立研究開発法人日本原子力研究開発機構のサイトへリンク）
Liの分析も可能な電子顕微鏡用高エネルギー分解能軟Ｘ線分光器の開発に成功
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