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量子材料超微細加工プロジェクト

ニュース&トピックス

掲載日:2026年6月1日更新
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2026年

2026年5月30日

圓谷上席研究員と好田先生との共著で発表した論文 “Atomic and electronic structure of ZrO2 film on Si(100) grown by low temperature chemical vapor deposition” [AIP Advances​, 16, 055021 (2026)] が、工学的に特に意義のある論文として同雑誌のCoverに選定されました。