量子材料超微細加工プロジェクト

研究課題

掲載日：2026年6月1日更新
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1.   レジスト材料創製

　　　　1-1　メタルレジストの開発

　　　　1-2　新規ブロック共重合体の開発

 

2.  量子ビームを用いた材料解析

　　　　2-1　小角散乱X線散乱（SAXS）法によるブロック共重合体の構造解析　　　　

 

量子材料超微細加工プロジェクト