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関西光科学研究所 | 施設共用 実施報告・公表情報

掲載日:2019年7月12日更新
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施設共用課題実施報告及び成果公表情報

2019年度課題

2018年度課題

利用装置 利用課題名 課題実施報告 成果公表情報
X線レーザー実験装置 ダブルパルス照射による基板表面励起加工過程の調査に関する研究    
J-KARENレーザー装置 無衝突衝撃波による準単色イオン加速物理の解明    
J-KARENレーザー装置 極短パルス高強度レーザーを用いた極限プラズマの研究    

2017年度課題

利用装置 利用課題名 課題実施報告 成果公表情報
X線レーザー実験装置 ダブルパルス照射による基板表面励起加工過程の調査に関する研究    
X線レーザー実験装置 EUV放射用レジスト材料アブレーションのX線照射パルス幅依存性に関する研究    
軟X線平面結像型回折格子評価装置 極端紫外線(EUV)回折格子の結像評価研究    
X線レーザー実験装置 高耐性軟X線光学素子に関する基礎研究    

2016年度課題

利用装置 利用課題名 課題実施報告 成果公表情報
X線レーザー実験装置 超短パルスレーザープラズマX 線源を用いたダブルパルス照射による基板表面励起加工過程の調査に関する研究    
X線レーザー実験装置 高耐性軟X線光学素子に関する基礎研究    
X線レーザー実験装置 EUV用レジスト材料のX線照射パルス幅依存性に関する研究    

 

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