量子科学技術研究開発機構

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ビーム技術開発課

イオン源に関する研究開発

掲載日：2022年6月17日更新

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ナノイオンビーム形成技術

静電レンズの一種の加速レンズを用いて小型のイオンマイクロビーム装置の開発を行っています。

ガスイオンナノビーム装置