放射線高度利用施設部 ビーム技術開発課

論文(2022年)

掲載日:2022年6月17日更新
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2022年(令和4年)

  • "Utilizing a photosensitive dry film resist in proton beam writing"

Hironori Seki, Keiya Kawamura, Hidetaka Hayashi, Yasuyuki Ishii, Nitipon Puttaraksa, Hiroyuki Nishikawa, 
Japanese Journal of Applied Physics, 61 (2022) SD1006-1-4.